電容式傳感器是把被測的機械量，如位移、壓力等轉換為電容量變化的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數的電容器，其適合常用的形式就是由兩個平行電極組成、極間以空氣為戒指的電容器。若忽略邊緣效應，平板電容器的電容為εS/d，式中ε為極間介質的介電常數，S為兩電極互相覆蓋的有效麵積，d為兩電極間的距離。Ε、S、d三個參數中人一個的變化都將引起電容量變化，並可用於檢測。

　　因此電容式傳感器可以分為極距變化型、麵積變化型、介質變化型三類。極距變化型一般用來測量微小的線位移或由於力、壓力、振動等引起的極距變化。麵積變化型一般用於測量角位移或較大的線位移。介質變化型常用語物位測量和各種介質的溫度、密度、濕度的測定。

　　電感式傳感器是利用電磁感應把被測的物理量如位移、壓力、流量等轉換成線圈的自感係數和互感係數的變化，再由電路轉換為電壓或電流的變化量輸出，實現非電量到電量的轉換。